TSMC, High-NA EUV 없이 1.4nm 공정 수율 달성 방법 (2026)
TSMC는 2028년 양산 예정인 1.4nm(A14) 공정에서 High-NA EUV 없이 기존 Low-NA EUV 장비만으로 90% 이상 수율을 달성하는 기술을 확보했습니다. 이는 케빈 장(Kevin Zhang) TSMC 부사장이 2025년 5월 유럽 …
TSMC는 2028년 양산 예정인 1.4nm(A14) 공정에서 High-NA EUV 없이 기존 Low-NA EUV 장비만으로 90% 이상 수율을 달성하는 기술을 확보했습니다. 이는 케빈 장(Kevin Zhang) TSMC 부사장이 2025년 5월 유럽 …